LASER EXCIMER ArF avec une largeur de raie de 0.1pm
Ce laser est muni d'un télescope à prismes et d'un miroir totalement réflechissant permettant de ramener la largeur de la raie naturel de 17000 GHz (1.7nm) à 10 GHz soit 0.1pm. L'avantage d'avoir une raie très étroite (haute monochromaticité) c'est d'obtenir un point focale le plus petit que possible pour la photolithographie.
Les 3 prismes sont en fluorure de baryum traité antireflexion sur les faces pour 193nm. Le réseau de diffraction permet de sélectionner la ligne d'émission que l'on désire mais il peut également être remplacer par un miroir totalement réflecteur pour la longueur d'onde considérée.
Tout ce système diffractant se trouve dans une boite étanche balayée par un flux d'azote sec et filtré pour éviter l'oxygène de l'air qui présente une forte absorption à cette longueur d'onde.
