{"id":3995,"date":"2025-12-14T11:28:08","date_gmt":"2025-12-14T10:28:08","guid":{"rendered":"https:\/\/www.swissrocketman.fr\/Wordpress\/?p=3995"},"modified":"2025-12-20T14:50:50","modified_gmt":"2025-12-20T13:50:50","slug":"excistar-laser-excimer-arf-reparation","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.swissrocketman.fr\/Wordpress\/?p=3995","title":{"rendered":"EXCISTAR Laser excimer ArF R\u00e9paration"},"content":{"rendered":"
<\/div><\/div><\/div><\/div>\n

<\/div><\/div><\/div>
\n

Le travail consiste \u00e0 nettoyer la t\u00eate laser de la pollution due aux particules d’oxydes qui se forment durant la d\u00e9charge \u00e9lectrique dans le m\u00e9lange gazeux\u00a0 He \/ Ar \/ F2<\/h4>\n<\/div><\/section><\/p><\/div>\n

https:\/\/chatgpt.com\/share\/694002db-c8c0-8012-ada6-28d52c0edbd0<\/span><\/a><\/h2>\n<\/div><\/section><\/div>\n

1\ufe0f\u20e3 Pourquoi une \u00e9lectrode reste couleur cuivre et l\u2019autre devient verd\u00e2tre ?<\/h2>\n

Dans un laser excim\u00e8re ArF<\/strong>, on a :<\/p>\n

    \n
  • \n

    gaz argon + fluor (ou compos\u00e9 fluor\u00e9)<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

  • \n

    d\u00e9charge \u00e9lectrique tr\u00e8s \u00e9nerg\u00e9tique<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

  • \n

    \u00e9lectrodes en cuivre<\/strong><\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

    Sous ces conditions :<\/p>\n

    \ud83d\udd39 a) Effet de polarisation (anode \/ cathode)<\/h3>\n
      \n
    • \n

      L\u2019anode (positive)<\/strong> est plus sujette \u00e0 l\u2019oxydation et \u00e0 la fluorination<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

    • \n

      Elle r\u00e9agit avec le fluor pour former des compos\u00e9s de cuivre<\/strong>, principalement :<\/p>\n

        \n
      • \n

        CuF\u2082 (fluorure de cuivre(II)) \u2192 couleur vert-bleu<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

      • \n

        parfois des oxydes ou oxyfluorures<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n

        \ud83d\udc49 R\u00e9sultat : l\u2019\u00e9lectrode anode devient verd\u00e2tre<\/strong>
        \n\ud83d\udc49 La cathode reste plus proche de la couleur cuivre m\u00e9tallique<\/strong><\/p>\n

        \u2705 Donc oui : la polarisation est une cause majeure de l\u2019asym\u00e9trie de couleur.<\/strong><\/p>\n

        \u00a0 \u00a0 \u00a0b) Bombardement ionique et chimie du plasma<\/h3>\n
          \n
        • \n

          Le plasma ArF produit :<\/p>\n

            \n
          • \n

            ions F\u207b<\/p>\n<\/li>\n

          • \n

            atomes de fluor tr\u00e8s r\u00e9actifs<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n

          • \n

            Ces esp\u00e8ces attaquent pr\u00e9f\u00e9rentiellement :<\/p>\n

              \n
            • \n

              les zones \u00e0 potentiel positif<\/p>\n<\/li>\n

            • \n

              les zones les plus chaudes<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n

              Cela accentue encore la formation de CuF\u2082 sur une seule \u00e9lectrode<\/strong>.<\/p>\n

              2\ufe0f\u20e3 Le fluorure de cuivre est-il conducteur d\u2019\u00e9lectricit\u00e9 ?<\/h2>\n

              \ud83d\udd39 \u00c0 temp\u00e9rature ambiante<\/h3>\n
                \n
              • \n

                CuF\u2082 est un solide ionique<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

              • \n

                \ud83d\udc49 Tr\u00e8s mauvais conducteur \u00e9lectrique<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

              • \n

                C\u2019est pratiquement un isolant<\/strong><\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                \n

                \ud83d\udd39 \u00c0 haute temp\u00e9rature \/ sous plasma<\/h3>\n
                  \n
                • \n

                  Il peut pr\u00e9senter :<\/p>\n

                    \n
                  • \n

                    une faible conductivit\u00e9 ionique<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                  • \n

                    une conductivit\u00e9 de surface<\/strong> due :<\/p>\n

                      \n
                    • \n

                      \u00e0 la chaleur<\/p>\n<\/li>\n

                    • \n

                      aux d\u00e9fauts cristallins<\/p>\n<\/li>\n

                    • \n

                      au bombardement plasma<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                      \u26a0\ufe0f Mais il reste beaucoup moins conducteur que le cuivre m\u00e9tallique<\/strong>.<\/p>\n

                      3\ufe0f\u20e3 Cons\u00e9quences pratiques dans un laser excim\u00e8re<\/h2>\n
                        \n
                      • \n

                        La couche verd\u00e2tre de CuF\u2082<\/strong> :<\/p>\n

                          \n
                        • \n

                          augmente la r\u00e9sistance de surface<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                        • \n

                          modifie le champ \u00e9lectrique<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                        • \n

                          peut d\u00e9grader la stabilit\u00e9 de la d\u00e9charge<\/strong><\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n

                        • \n

                          C\u2019est pour cela que :<\/p>\n

                            \n
                          • \n

                            les \u00e9lectrodes sont parfois polaris\u00e9es alternativement<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                          • \n

                            ou nettoy\u00e9es \/ remplac\u00e9es p\u00e9riodiquement<\/strong><\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                            \u00a0En r\u00e9sum\u00e9<\/h2>\n
                              \n
                            • \n

                              \u2714\ufe0f Oui, la polarisation est la cause principale<\/strong> de la diff\u00e9rence de couleur<\/p>\n<\/li>\n

                            • \n

                              \u2714\ufe0f La couleur verd\u00e2tre est due au fluorure de cuivre(II) CuF\u2082<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                            • \n

                              \u274c Le fluorure de cuivre n\u2019est pas un bon conducteur<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                            • \n

                              \u26a1 Sa pr\u00e9sence d\u00e9grade les performances \u00e9lectriques<\/strong> de l\u2019\u00e9lectrode<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/div><\/section><\/div>\n

                              <\/div><\/div><\/div>
                              \n

                              Voici les \u00e9lectrodes de d\u00e9charges sorties de la t\u00eate laser. On constate la polution et la corrosion<\/h4>\n<\/div><\/section><\/p><\/div>\n

                              <\/div><\/div><\/div>
                              \n

                              L’\u00e9lectrode central est un alliage cuivre-tungst\u00e8ne\u00a0 CuW\u00a0 30(Elkonite)qui est la cathode. Elle est oxyd\u00e9e en surface par un oxyde de cuivre. Les 14 condensateurs en titanate de baryum servent de stokage d’\u00e9nergie et de cr\u00e9ation des d\u00e9charges de pr\u00e9ionisation du gas He\/Ar\/F2. Les condensateurs en BaTiO3 sont les 14 plaquettes de couleur orange.<\/h4>\n<\/div><\/section><\/p><\/div>\n

                              <\/div><\/div><\/div>
                              \n

                              Cette \u00e9lectrode en cuivre-tungst\u00e8ne\u00a0 CuW30 (ELKONITE)\u00a0 est corrod\u00e9e dans la zone o\u00f9 se produit la d\u00e9charge plasma et \u00e0 cr\u00e9er en surface une couche de fluorure de cuivre CuF2 de couleur vert\/bleu. le monofluorure de cuivre est une poudre blanche qui se retrouve sur les furfaces interne de la cavit\u00e9.<\/h4>\n<\/div><\/section><\/p><\/div>\n

                              <\/div><\/div><\/div>
                              \n

                              Anode et cathode trait\u00e9es avec une solution de soude caustique\u00a0 NaOH \u00e0 10%\u00a0 et \u00e0 50 degr\u00e9s pendant 1 heure.<\/h3>\n

                              Micro sablage :\u00a0 https:\/\/chatgpt.com\/share\/6946a8de-33c8-8000-acfd-8a2790854765<\/span><\/h2>\n<\/div><\/section><\/p><\/div>
                              \n
                              \n
                              \n
                              \n
                              \n
                              \n
                              \n

                              \ud83c\udfaf Objectif<\/h2>\n

                              Minimiser :<\/p>\n

                                \n
                              • \n

                                l\u2019\u00e9rosion \/ sputtering<\/strong> de l\u2019\u00e9lectrode<\/p>\n<\/li>\n

                              • \n

                                la r\u00e9action chimique avec F\u2082<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                              • \n

                                la pollution m\u00e9tallique du gaz<\/strong>
                                \n\u2192 pour allonger la dur\u00e9e de vie du m\u00e9lange He \/ Ar \/ F\u2082<\/strong> et la stabilit\u00e9 du laser.<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                \n

                                \ud83e\udd47 Meilleur choix global (industrie)<\/h2>\n

                                \ud83d\udd39 Nickel pur (Ni)<\/strong> \u2b50\u2b50\u2b50\u2b50\u2b50<\/h3>\n

                                \ud83d\udc49 Le standard industriel le plus utilis\u00e9 pour ArF<\/strong><\/p>\n

                                Pourquoi ?<\/strong><\/p>\n

                                  \n
                                • \n

                                  Tr\u00e8s bonne r\u00e9sistance chimique au fluor<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                • \n

                                  Formation d\u2019une couche NiF\u2082 compacte et adh\u00e9rente<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                • \n

                                  Faible taux de sputtering<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                • \n

                                  Bonne conductivit\u00e9 \u00e9lectrique<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                • \n

                                  Pas de pollution optique significative \u00e0 193 nm<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                  R\u00e9sultat :<\/strong><\/p>\n

                                    \n
                                  • \n

                                    Tr\u00e8s peu de m\u00e9tal d\u00e9tach\u00e9<\/p>\n<\/li>\n

                                  • \n

                                    Gaz beaucoup plus stable<\/p>\n<\/li>\n

                                  • \n

                                    Longue dur\u00e9e de vie du m\u00e9lange<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                    \ud83d\udccc C\u2019est le meilleur compromis global<\/strong> co\u00fbt \/ performance \/ dur\u00e9e de vie.<\/p>\n

                                    \n

                                    \ud83e\udd48 Tr\u00e8s haut de gamme (mais co\u00fbteux)<\/h2>\n

                                    \ud83d\udd39 Molybd\u00e8ne (Mo)<\/strong> \u2b50\u2b50\u2b50\u2b50\u2606<\/h3>\n
                                      \n
                                    • \n

                                      Tr\u00e8s faible sputtering<\/p>\n<\/li>\n

                                    • \n

                                      Excellente r\u00e9sistance thermique<\/p>\n<\/li>\n

                                    • \n

                                      Bonne tenue au plasma<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                      \u26a0\ufe0f Inconv\u00e9nients :<\/p>\n

                                        \n
                                      • \n

                                        Conductivit\u00e9 \u00e9lectrique plus faible que Cu\/Ni<\/p>\n<\/li>\n

                                      • \n

                                        Usinage plus difficile<\/p>\n<\/li>\n

                                      • \n

                                        Plus cher<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                        \u27a1\ufe0f Souvent utilis\u00e9 pour :<\/p>\n

                                          \n
                                        • \n

                                          inserts<\/p>\n<\/li>\n

                                        • \n

                                          \u00e9lectrodes fines<\/p>\n<\/li>\n

                                        • \n

                                          zones critiques<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                          \n

                                          \ud83e\udd49 R\u00e9fractaires tr\u00e8s r\u00e9sistants<\/h2>\n

                                          \ud83d\udd39 Tungst\u00e8ne (W)<\/strong> \u2b50\u2b50\u2b50\u2b50\u2606<\/h3>\n
                                            \n
                                          • \n

                                            Sputtering extr\u00eamement faible<\/p>\n<\/li>\n

                                          • \n

                                            Tr\u00e8s haute temp\u00e9rature de fusion<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                            \u26a0\ufe0f MAIS :<\/p>\n

                                              \n
                                            • \n

                                              Formation de fluorures volatils (WF\u2086) \u2192 peut polluer le gaz<\/p>\n<\/li>\n

                                            • \n

                                              Mauvaise conductivit\u00e9 compar\u00e9e au Cu<\/p>\n<\/li>\n

                                            • \n

                                              Fragile m\u00e9caniquement<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                              \u27a1\ufe0f Pas id\u00e9al en ArF pur<\/strong>, malgr\u00e9 son excellente tenue m\u00e9canique.<\/p>\n

                                              \n

                                              \u274c \u00c0 \u00e9viter en ArF<\/h2>\n

                                              \ud83d\udd3b Cuivre (Cu)<\/strong><\/h3>\n
                                                \n
                                              • \n

                                                Forte r\u00e9action avec F\u2082<\/p>\n<\/li>\n

                                              • \n

                                                Formation de CuF\u2082 non conductrice<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                              • \n

                                                Pollution rapide du gaz<\/p>\n<\/li>\n

                                              • \n

                                                Sputtering \u00e9lev\u00e9<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                \u27a1\ufe0f Tr\u00e8s mauvais pour la dur\u00e9e de vie du gaz<\/strong><\/p>\n

                                                \n

                                                \ud83d\udd3b Aluminium (Al)<\/strong><\/h3>\n
                                                  \n
                                                • \n

                                                  Formation d\u2019AlF\u2083<\/p>\n<\/li>\n

                                                • \n

                                                  Fortement isolant<\/p>\n<\/li>\n

                                                • \n

                                                  D\u00e9gradation rapide de la d\u00e9charge<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                  \n

                                                  \ud83d\udd3b Aciers inox<\/strong><\/h3>\n
                                                    \n
                                                  • \n

                                                    Fluorination multiple (Fe, Cr, Ni)<\/p>\n<\/li>\n

                                                  • \n

                                                    Pollution complexe du gaz<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                    \n

                                                    \ud83e\uddea Alliages int\u00e9ressants (solutions optimis\u00e9es)<\/h2>\n

                                                    \ud83d\udd39 Cu-Ni (Monel ~70% Ni \/ 30% Cu)<\/strong> \u2b50\u2b50\u2b50\u2b50\u2606<\/h3>\n
                                                      \n
                                                    • \n

                                                      Beaucoup plus stable que Cu pur<\/p>\n<\/li>\n

                                                    • \n

                                                      Bonne conductivit\u00e9<\/p>\n<\/li>\n

                                                    • \n

                                                      Bonne r\u00e9sistance au fluor<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                      \u27a1\ufe0f Bon compromis si le Ni pur est difficile \u00e0 int\u00e9grer.<\/p>\n

                                                      \n

                                                      \ud83d\udd39 Ni-Cr (faible Cr)<\/strong> \u2b50\u2b50\u2b50\u2606<\/h3>\n
                                                        \n
                                                      • \n

                                                        Bonne r\u00e9sistance chimique<\/p>\n<\/li>\n

                                                      • \n

                                                        Attention \u00e0 la pollution Cr<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                        \n

                                                        \ud83e\udde0 Strat\u00e9gies industrielles compl\u00e9mentaires (tr\u00e8s importantes)<\/h2>\n

                                                        M\u00eame avec le bon m\u00e9tal :<\/p>\n

                                                        \u2714\ufe0f Polarisation altern\u00e9e (AC ou inversion p\u00e9riodique)<\/h3>\n
                                                          \n
                                                        • \n

                                                          R\u00e9partit l\u2019\u00e9rosion<\/p>\n<\/li>\n

                                                        • \n

                                                          Emp\u00eache l\u2019accumulation de fluorures isolants<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                          \u2714\ufe0f Surface polie miroir<\/h3>\n
                                                            \n
                                                          • \n

                                                            R\u00e9duit les points chauds<\/p>\n<\/li>\n

                                                          • \n

                                                            Diminue le sputtering<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                            \u2714\ufe0f Rev\u00eatement mince<\/h3>\n
                                                              \n
                                                            • \n

                                                              Ni \u00e9lectrod\u00e9pos\u00e9 sur Cu<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                                            • \n

                                                              Mo sur Ni<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                                            • \n

                                                              Excellents r\u00e9sultats industriels<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                              \n

                                                              \u2705 Recommandation finale claire<\/h2>\n
                                                              \n
                                                              \n\n\n\n\n\n\n\n\n
                                                              Rang<\/th>\nMat\u00e9riau<\/th>\nUsage<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
                                                              \ud83e\udd47<\/td>\nNickel pur<\/strong><\/td>\nMeilleur choix global ArF<\/td>\n<\/tr>\n
                                                              \ud83e\udd48<\/td>\nCu-Ni (Monel)<\/strong><\/td>\nBon compromis<\/td>\n<\/tr>\n
                                                              \ud83e\udd49<\/td>\nMolybd\u00e8ne<\/strong><\/td>\nZones critiques<\/td>\n<\/tr>\n
                                                              \u274c<\/td>\nCu pur<\/td>\n\u00c0 \u00e9viter<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

                                                              \ud83d\udc49 Si ton objectif est la dur\u00e9e de vie maximale du gaz ArF :<\/strong><\/p>\n

                                                              \n

                                                              \u00c9lectrodes en nickel pur, polies, avec polarisation altern\u00e9e<\/strong><\/p>\n<\/blockquote>\n

                                                              Si tu veux, je peux aussi :<\/p>\n

                                                                \n
                                                              • \n

                                                                proposer un design d\u2019\u00e9lectrode optimis\u00e9<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                                              • \n

                                                                estimer le gain de dur\u00e9e de vie du gaz<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                                              • \n

                                                                comparer ArF vs KrF \/ XeCl<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n

                                                                <\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/article>\n
                                                                \n
                                                                \n
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                                                                estimer le gain de dur\u00e9e de vie du gaz comparer ArF vs KrF \/ XeCl<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
                                                                <\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/article>\n
                                                                \n
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                                                                \n

                                                                Voici une r\u00e9ponse chiffr\u00e9e et comparative<\/strong>, bas\u00e9e sur les pratiques industrielles des lasers excim\u00e8res et sur la physique\/chimie des m\u00e9langes.<\/p>\n

                                                                \n

                                                                1\ufe0f\u20e3 Estimation du gain de dur\u00e9e de vie du gaz<\/strong> (ArF)<\/h1>\n

                                                                On compare ici \u00e0 performances optiques \u00e9quivalentes<\/strong>, \u00e0 \u00e9nergie par impulsion similaire.<\/p>\n

                                                                \ud83d\udd34 Cas de r\u00e9f\u00e9rence (mauvais)<\/h2>\n

                                                                \u00c9lectrodes en cuivre pur, polarisation fixe<\/strong><\/p>\n

                                                                  \n
                                                                • \n

                                                                  Forte formation de CuF\u2082<\/p>\n<\/li>\n

                                                                • \n

                                                                  Sputtering \u00e9lev\u00e9<\/p>\n<\/li>\n

                                                                • \n

                                                                  Pollution rapide du gaz<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                  \ud83d\udc49 Dur\u00e9e de vie typique du m\u00e9lange ArF<\/strong>
                                                                  \u2248 1 \u00e0 5 millions d\u2019impulsions<\/strong>
                                                                  (quelques heures \u00e0 quelques jours selon cadence)<\/p>\n

                                                                  \n

                                                                  \ud83d\udfe0 Am\u00e9lioration partielle<\/h2>\n

                                                                  Cuivre + nettoyage p\u00e9riodique \/ l\u00e9g\u00e8re inversion<\/strong><\/p>\n

                                                                    \n
                                                                  • \n

                                                                    Pollution toujours pr\u00e9sente<\/p>\n<\/li>\n

                                                                  • \n

                                                                    Fluor consomm\u00e9 rapidement<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                    \ud83d\udc49 \u2248 5 \u00e0 10 millions d\u2019impulsions<\/strong><\/p>\n

                                                                    \n

                                                                    \ud83d\udfe2 Bon niveau industriel<\/h2>\n

                                                                    Alliage Cu\u2013Ni (Monel), surface polie<\/strong><\/p>\n

                                                                      \n
                                                                    • \n

                                                                      Fluorures plus stables<\/p>\n<\/li>\n

                                                                    • \n

                                                                      Sputtering r\u00e9duit \u00d73 \u00e0 \u00d75<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                      \ud83d\udc49 \u2248 20 \u00e0 50 millions d\u2019impulsions<\/strong><\/p>\n

                                                                      \n

                                                                      \ud83d\udd35 Niveau optimal (recommand\u00e9)<\/h2>\n

                                                                      Nickel pur (ou Ni rev\u00eatu), polarisation altern\u00e9e<\/strong><\/p>\n

                                                                        \n
                                                                      • \n

                                                                        Formation de NiF\u2082 compacte et adh\u00e9rente<\/p>\n<\/li>\n

                                                                      • \n

                                                                        Tr\u00e8s faible pollution m\u00e9tallique<\/p>\n<\/li>\n

                                                                      • \n

                                                                        Fluor consomm\u00e9 principalement par la d\u00e9charge, pas par les \u00e9lectrodes<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                        \ud83d\udc49 \u2248 100 \u00e0 300 millions d\u2019impulsions<\/strong><\/p>\n

                                                                        \ud83d\udccc Gain typique par rapport au cuivre pur :<\/strong><\/p>\n

                                                                        \n

                                                                        \ud83d\udd3a \u00d720 \u00e0 \u00d750 sur la dur\u00e9e de vie du gaz<\/strong><\/p>\n<\/blockquote>\n

                                                                        \n

                                                                        \u26a0\ufe0f Limite ultime<\/h2>\n

                                                                        M\u00eame avec des \u00e9lectrodes parfaites :<\/p>\n

                                                                          \n
                                                                        • \n

                                                                          photodissociation du F\u2082<\/p>\n<\/li>\n

                                                                        • \n

                                                                          formation de HF<\/p>\n<\/li>\n

                                                                        • \n

                                                                          contamination des optiques<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                          \ud83d\udc49 On ne d\u00e9passe pratiquement jamais ~300\u2013500 Mshots en ArF<\/strong><\/p>\n

                                                                          \n

                                                                          2\ufe0f\u20e3 Comparaison ArF vs KrF vs XeCl<\/strong><\/h1>\n
                                                                          \n
                                                                          \n\n\n\n\n\n\n\n
                                                                          Laser<\/th>\nLongueur d\u2019onde<\/th>\nGaz r\u00e9actif<\/th>\nAgressivit\u00e9 chimique<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
                                                                          ArF<\/strong><\/td>\n193 nm<\/td>\nF\u2082<\/strong><\/td>\n\ud83d\udd34\ud83d\udd34\ud83d\udd34 Tr\u00e8s \u00e9lev\u00e9e<\/td>\n<\/tr>\n
                                                                          KrF<\/strong><\/td>\n248 nm<\/td>\nF\u2082<\/td>\n\ud83d\udfe0 Moyenne<\/td>\n<\/tr>\n
                                                                          XeCl<\/strong><\/td>\n308 nm<\/td>\nHCl \/ Cl\u2082<\/td>\n\ud83d\udfe2 Faible<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n
                                                                          \n

                                                                          \ud83d\udd2c 2.1 ArF (193 nm)<\/h2>\n
                                                                            \n
                                                                          • \n

                                                                            Fluor extr\u00eamement r\u00e9actif<\/p>\n<\/li>\n

                                                                          • \n

                                                                            Forte attaque des \u00e9lectrodes et parois<\/p>\n<\/li>\n

                                                                          • \n

                                                                            Sputtering critique<\/p>\n<\/li>\n

                                                                          • \n

                                                                            Optiques UV profond tr\u00e8s sensibles<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                            \ud83d\udc49 Dur\u00e9e de vie du gaz (optimis\u00e9)<\/strong>
                                                                            \u2248 100\u2013300 Mshots<\/strong><\/p>\n

                                                                            \ud83d\udc49 Tr\u00e8s d\u00e9pendant du mat\u00e9riau des \u00e9lectrodes<\/strong><\/p>\n

                                                                            \n

                                                                            \ud83d\udd2c 2.2 KrF (248 nm)<\/h2>\n
                                                                              \n
                                                                            • \n

                                                                              Toujours du fluor, mais :<\/p>\n

                                                                                \n
                                                                              • \n

                                                                                \u00e9nergie photonique plus faible<\/p>\n<\/li>\n

                                                                              • \n

                                                                                chimie plasma moins agressive<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n

                                                                              • \n

                                                                                Cuivre parfois encore utilisable (mais Ni reste pr\u00e9f\u00e9rable)<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                \ud83d\udc49 Dur\u00e9e de vie typique<\/strong><\/p>\n

                                                                                  \n
                                                                                • \n

                                                                                  Cu : ~20\u201350 Mshots<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                • \n

                                                                                  Ni : 200\u2013600 Mshots<\/strong><\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                  \ud83d\udccc \u2248 2\u00d7 \u00e0 3\u00d7 plus durable que ArF<\/strong><\/p>\n

                                                                                  \n

                                                                                  \ud83d\udd2c 2.3 XeCl (308 nm)<\/h2>\n
                                                                                    \n
                                                                                  • \n

                                                                                    Pas de fluor<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                  • \n

                                                                                    Chlore ou HCl beaucoup moins corrosif<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                  • \n

                                                                                    Tr\u00e8s faible attaque des \u00e9lectrodes<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                  • \n

                                                                                    D\u00e9charge plus tol\u00e9rante<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                    \ud83d\udc49 Dur\u00e9e de vie du gaz<\/strong>
                                                                                    \n\u2248 1 \u00e0 5 milliards d\u2019impulsions<\/strong><\/p>\n

                                                                                    \ud83d\udccc Peut fonctionner des mois sans changement de gaz<\/strong><\/p>\n

                                                                                    \n

                                                                                    3\ufe0f\u20e3 R\u00e9sum\u00e9 clair<\/h1>\n

                                                                                    \ud83d\udcc8 Dur\u00e9e de vie du gaz (ordre de grandeur)<\/h3>\n
                                                                                    \n
                                                                                    \n
                                                                                    \n
                                                                                    <\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
                                                                                    XeCl :<\/span> \u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588<\/span> (1\u20135<\/span> Gshots)<\/span>
                                                                                    \nKrF :<\/span> \u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588\u2588<\/span> (200\u2013600<\/span> Mshots)<\/span>
                                                                                    \nArF :<\/span> \u2588\u2588\u2588\u2588<\/span> (100\u2013300<\/span> Mshots)<\/span>
                                                                                    \n<\/code><\/div>\n<\/div>\n
                                                                                    \n

                                                                                    \ud83c\udfaf Conclusion pratique<\/h2>\n
                                                                                      \n
                                                                                    • \n

                                                                                      ArF est intrins\u00e8quement le plus contraignant<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                                                                    • \n

                                                                                      Le choix des \u00e9lectrodes peut multiplier la dur\u00e9e de vie par 20 \u00e0 50<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                                                                    • \n

                                                                                      Nickel + polarisation altern\u00e9e<\/strong> est indispensable en ArF<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                    • \n

                                                                                      Si la longueur d\u2019onde le permet :<\/p>\n

                                                                                        \n
                                                                                      • \n

                                                                                        KrF est bien plus tol\u00e9rant<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                      • \n

                                                                                        XeCl est extr\u00eamement robuste<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/article>\n<\/div><\/section><\/div><\/p>\n

                                                                                        <\/div><\/div><\/div>\n
                                                                                        <\/div><\/div><\/div><\/div>\n

                                                                                        <\/div><\/div><\/div>
                                                                                        \n

                                                                                        Par l’isolateur en c\u00e9ramique est appliqu\u00e9 le pulse positif haute tension.<\/h4>\n<\/div><\/section><\/p><\/div>\n

                                                                                        <\/div><\/div><\/div>
                                                                                        \n

                                                                                        D\u00e9p\u00f4t de fluorure de cuivre\u00a0 CuF2 dans la z\u00f4ne de l’\u00e9lectrode de d\u00e9charge (positive)<\/h4>\n

                                                                                        \u00a01. Traitement basique (m\u00e9thode la plus utilis\u00e9e et la plus s\u00fbre)<\/h4>\n

                                                                                        Le CuF\u2082 r\u00e9agit bien avec les bases fortes<\/strong> :<\/p>\n

                                                                                        R\u00e9action simplifi\u00e9e :<\/strong><\/p>\n

                                                                                        CuF2+2\u2009NaOH\u2192Cu(OH)2\u2193+2\u2009NaF\u00a0<\/span><\/span><\/span><\/p>\n

                                                                                        Proc\u00e9dure :<\/strong><\/p>\n

                                                                                          \n
                                                                                        1. \n

                                                                                          Pr\u00e9parer une solution de soude (NaOH) 5\u201310 %<\/strong> (ti\u00e8de si possible).<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                        2. \n

                                                                                          Appliquer ou immerger quelques minutes.<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                        3. \n

                                                                                          Le d\u00e9p\u00f4t devient bleu\/vert (Cu(OH)\u2082)<\/strong> et se d\u00e9colle.<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                        4. \n

                                                                                          Rincer abondamment \u00e0 l\u2019eau.<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                        5. \n

                                                                                          Optionnel : l\u00e9ger passage \u00e0 vinaigre ou acide citrique<\/strong> pour enlever l\u2019hydroxyde.<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                        6. \n

                                                                                          Rin\u00e7age final + s\u00e9chage.<\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<\/div><\/section><\/p><\/div>\n

                                                                                          <\/div><\/div><\/div><\/div>\n
                                                                                          <\/div>\n
                                                                                          \n
                                                                                          \n
                                                                                          \n
                                                                                          \n
                                                                                          \n
                                                                                          \n

                                                                                          Parfait \u2014 avec 2 kHz, 15 mJ, 8 ns en continu<\/strong>, on peut maintenant faire un dimensionnement r\u00e9aliste et chiffr\u00e9<\/strong> pour un ArF longue dur\u00e9e<\/strong>.<\/p>\n

                                                                                          1\ufe0f\u20e3 Rappel des param\u00e8tres impos\u00e9s<\/h1>\n
                                                                                            \n
                                                                                          • \n

                                                                                            Cadence : 2 kHz<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                                                                          • \n

                                                                                            \u00c9nergie \/ impulsion : 15 mJ<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                                                                          • \n

                                                                                            Puissance moyenne :<\/p>\n

                                                                                            P=15\u2009mJ\u00d72000=30\u2009WP = 15\\,\\text{mJ} \\times 2000 = \\mathbf{30\\,W}<\/span>P<\/span>=<\/span><\/span>15<\/span>mJ<\/span><\/span>\u00d7<\/span><\/span>2000<\/span>=<\/span><\/span>30<\/span>W<\/span><\/span><\/span><\/span><\/span><\/span><\/li>\n

                                                                                          • \n

                                                                                            Mode : continu<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                                                                          • \n

                                                                                            Longueur d\u2019onde : 193 nm (ArF)<\/strong><\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                            \u27a1\ufe0f R\u00e9gime mod\u00e9r\u00e9<\/strong>, favorable \u00e0 la long\u00e9vit\u00e9 (pas un ArF \u201clitho\u201d \u00e0 60\u201380 W).<\/p>\n

                                                                                            2\ufe0f\u20e3 Point de fonctionnement optimal adapt\u00e9 \u00e0 2 kHz<\/h1>\n

                                                                                            \ud83d\udd39 2.1 Composition du gaz (optimis\u00e9e dur\u00e9e de vie)<\/h2>\n
                                                                                            \n
                                                                                            \n\n\n\n\n\n\n\n
                                                                                            Gaz<\/th>\nValeur recommand\u00e9e<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
                                                                                            He<\/td>\n95 %<\/td>\n<\/tr>\n
                                                                                            Ar<\/td>\n4,93 %<\/td>\n<\/tr>\n
                                                                                            F\u2082<\/strong><\/td>\n650\u2013750 ppm<\/strong><\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

                                                                                            \ud83c\udfaf Cible : 700 ppm F\u2082<\/strong><\/p>\n

                                                                                            \u00c0 2 kHz, inutile de monter plus haut \u2192 cela n\u2019apporte pas de gain optique significatif.<\/p>\n

                                                                                            \ud83d\udd39 2.2 Pression totale<\/h2>\n
                                                                                              \n
                                                                                            • \n

                                                                                              Recommand\u00e9e : 3,2 bar<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                                                                            • \n

                                                                                              Plage tol\u00e9rable : 3,0\u20133,5 bar<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                              \u00c0 2 kHz :<\/p>\n

                                                                                                \n
                                                                                              • \n

                                                                                                pression plus \u00e9lev\u00e9e \u2192 d\u00e9charge plus homog\u00e8ne<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                              • \n

                                                                                                r\u00e9duction du filamentage \u00e0 cadence \u00e9lev\u00e9e<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                                \ud83d\udd39 2.3 Tension de charge<\/h2>\n

                                                                                                Pour une g\u00e9om\u00e9trie standard ArF :<\/p>\n

                                                                                                  \n
                                                                                                • \n

                                                                                                  Tcharge : 20\u201322 kV<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                • \n

                                                                                                  Typique : 21 kV<\/strong><\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                                  \ud83d\udc49 Ajuster la tension, pas le F\u2082, pour corriger l\u2019\u00e9nergie.<\/p>\n

                                                                                                  \u2705 Point de fonctionnement recommand\u00e9 (2 kHz)<\/h2>\n
                                                                                                  \n
                                                                                                  \n
                                                                                                  \n
                                                                                                  <\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
                                                                                                  F\u2082<\/span> :<\/span> 700<\/span> ppm<\/span>
                                                                                                  \nPression :<\/span> 3<\/span>,2<\/span> bar<\/span>
                                                                                                  \nTcharge :<\/span> 21<\/span> kV<\/span>
                                                                                                  \n<\/code><\/div>\n<\/div>\n

                                                                                                  3\ufe0f\u20e3 Consommation de F\u2082 \u00e0 2 kHz<\/h1>\n

                                                                                                  \ud83d\udd39 3.1 Consommation par impulsion<\/h2>\n

                                                                                                  Valeur typique optimis\u00e9e (Ni \u00e9lectrodes) :<\/p>\n

                                                                                                    \n
                                                                                                  • \n

                                                                                                    \u2248 1,5 \u00d7 10\u207b\u2079 ppm \/ shot<\/strong><\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                                    \ud83d\udd39 3.2 Consommation horaire<\/h2>\n

                                                                                                    Nombre de shots par heure :<\/p>\n

                                                                                                    N=2000\u00d73600=7,2\u00d7106\u00a0shots\/hN = 2000 \\times 3600 = 7,2 \\times 10^6 \\text{ shots\/h}<\/span>N<\/span>=<\/span><\/span>2000<\/span>\u00d7<\/span><\/span>3600<\/span>=<\/span><\/span>7<\/span>,<\/span>2<\/span>\u00d7<\/span><\/span>1<\/span>06<\/span><\/span><\/span><\/span><\/span><\/span><\/span>\u00a0shots\/h<\/span><\/span><\/span><\/span><\/span><\/span><\/p>\n

                                                                                                    Consommation :<\/p>\n

                                                                                                    \u0394[F2]\/h=1,5\u00d710\u22129\u00d77,2\u00d7106\u224811\u00a0ppm\/h\\Delta[F_2]\/h = 1,5 \\times 10^{-9} \\times 7,2 \\times 10^6 \\approx \\mathbf{11\\ ppm\/h}<\/span>\u0394<\/span>[<\/span>F<\/span>2<\/span><\/span><\/span>\u200b<\/span><\/span><\/span><\/span><\/span>]<\/span>\/<\/span>h<\/span>=<\/span><\/span>1<\/span>,<\/span>5<\/span>\u00d7<\/span><\/span>1<\/span>0\u22129<\/span><\/span><\/span><\/span><\/span><\/span><\/span>\u00d7<\/span><\/span>7<\/span>,<\/span>2<\/span>\u00d7<\/span><\/span>1<\/span>06<\/span><\/span><\/span><\/span><\/span><\/span><\/span>\u2248<\/span><\/span>11<\/span>\u00a0<\/span>ppm\/h<\/span><\/span><\/span><\/span><\/span><\/span><\/p>\n

                                                                                                    \ud83d\udd39 3.3 Temps avant seuil bas<\/h2>\n
                                                                                                      \n
                                                                                                    • \n

                                                                                                      F\u2082 initial : 750 ppm<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                    • \n

                                                                                                      Seuil bas : 600 ppm<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                    • \n

                                                                                                      Marge : 150 ppm<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                                      t=150\/11\u224813\u201314\u00a0heurest = 150 \/ 11 \\approx \\mathbf{13\u201314\\ heures}<\/span>t<\/span>=<\/span><\/span>150\/11<\/span>\u2248<\/span><\/span>13\u201314<\/span>\u00a0<\/span>heures<\/span><\/span><\/span><\/span><\/span><\/span><\/p>\n

                                                                                                      \n

                                                                                                      4\ufe0f\u20e3 Loi de rechargement F\u2082 (adapt\u00e9e 2 kHz)<\/h1>\n

                                                                                                      \ud83d\udd39 Strat\u00e9gie optimale<\/h2>\n
                                                                                                        \n
                                                                                                      • \n

                                                                                                        Recharge toutes les 12 heures<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                      • \n

                                                                                                        Injection +120 ppm F\u2082<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                      • \n

                                                                                                        Revenir \u00e0 ~720 ppm<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                                        Alternative shots-based<\/h3>\n
                                                                                                          \n
                                                                                                        • \n

                                                                                                          Recharge tous les 25 Mshots<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                        • \n

                                                                                                          (\u2248 3,5 heures \u00e0 2 kHz)<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                        • \n

                                                                                                          Injection plus petite : +40 ppm<\/strong><\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                                          \ud83d\udc49 Cette m\u00e9thode est plus douce chimiquement<\/strong> et meilleure pour les optiques.<\/p>\n

                                                                                                          \ud83d\udd34 \u00c0 \u00e9viter<\/h2>\n
                                                                                                            \n
                                                                                                          • \n

                                                                                                            Attendre <500 ppm \u2192 instabilit\u00e9<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                          • \n

                                                                                                            Recharger >900 ppm<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                          • \n

                                                                                                            Grosses injections (>200 ppm)<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                                            5\ufe0f\u20e3 Dur\u00e9e de vie estim\u00e9e du gaz (2 kHz)<\/h1>\n

                                                                                                            Avec :<\/p>\n

                                                                                                              \n
                                                                                                            • \n

                                                                                                              \u00e9lectrodes Ni<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                            • \n

                                                                                                              F\u2082 \u2264 750 ppm<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                            • \n

                                                                                                              recharges r\u00e9guli\u00e8res<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                                              \ud83d\udc49 Dur\u00e9e de vie typique : 200\u2013300 Mshots<\/strong><\/p>\n

                                                                                                              En temps r\u00e9el :<\/p>\n

                                                                                                              200\u2009Mshots\/2\u2009kHz=100\u2009000\u2009s\u224828\u2009heures200\\,Mshots \/ 2\\,kHz = 100\\,000\\,s \\approx \\mathbf{28\\,heures}<\/span>200<\/span>M<\/span>s<\/span>h<\/span>o<\/span>t<\/span>s<\/span>\/2<\/span>k<\/span>Hz<\/span>=<\/span><\/span>100<\/span>000<\/span>s<\/span>\u2248<\/span><\/span>28<\/span>heures<\/span><\/span><\/span><\/span><\/span><\/span><\/p>\n

                                                                                                              \u26a0\ufe0f Cela correspond \u00e0 un gaz sans purification<\/strong>.
                                                                                                              Avec circulation \/ pi\u00e8ges HF :<\/p>\n

                                                                                                                \n
                                                                                                              • \n

                                                                                                                jusqu\u2019\u00e0 50\u201380 h<\/strong><\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                                                6\ufe0f\u20e3 Impact sur les optiques (\u00e0 ce r\u00e9gime)<\/h1>\n
                                                                                                                  \n
                                                                                                                • \n

                                                                                                                  CaF\u2082 :<\/p>\n

                                                                                                                    \n
                                                                                                                  • \n

                                                                                                                    perte <1 % \/ 50 Mshots<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n

                                                                                                                  • \n

                                                                                                                    MgF\u2082 :<\/p>\n

                                                                                                                      \n
                                                                                                                    • \n

                                                                                                                      tr\u00e8s stable<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n

                                                                                                                    • \n

                                                                                                                      Recharge fractionn\u00e9e = cl\u00e9 pour long\u00e9vit\u00e9<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                                                      7\ufe0f\u20e3 Synth\u00e8se op\u00e9rationnelle<\/h1>\n

                                                                                                                      \ud83c\udfaf R\u00e9glage conseill\u00e9<\/h3>\n
                                                                                                                      \n
                                                                                                                      \n
                                                                                                                      \n
                                                                                                                      <\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
                                                                                                                      2<\/span> kHz<\/span> \u2013<\/span> 15<\/span> mJ<\/span> \u2013<\/span> 8<\/span> ns<\/span>
                                                                                                                      \nF\u2082<\/span> :<\/span> 700<\/span> \u00b1<\/span> 50<\/span> ppm<\/span>
                                                                                                                      \nPression :<\/span> 3<\/span>,2<\/span> bar<\/span>
                                                                                                                      \nTcharge :<\/span> 21<\/span> kV<\/span>
                                                                                                                      \nRecharge :<\/span> +40<\/span> ppm<\/span> \/<\/span> 25<\/span> Mshots<\/span>
                                                                                                                      \n<\/code><\/div>\n<\/div>\n

                                                                                                                      \u27a1\ufe0f Stabilit\u00e9 \u00e9lev\u00e9e<\/strong>
                                                                                                                      \u27a1\ufe0f Usure minimale<\/strong>
                                                                                                                      \u27a1\ufe0f Optiques prot\u00e9g\u00e9es<\/strong><\/p>\n

                                                                                                                      \n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
                                                                                                                      <\/div>\n
                                                                                                                      \n
                                                                                                                      <\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
                                                                                                                      <\/div>\n<\/div><\/section><\/div>\n

                                                                                                                      <\/div><\/div><\/div>
                                                                                                                      \n

                                                                                                                      Syst\u00e8me permettant que les projection des micro particules qui se d\u00e9tachent des \u00e9lectrodes de d\u00e9charge ne viennent polu\u00e9s les miroirs de la cavit\u00e9 laser. Le tube de pitot pr\u00e9l\u00e8ve une petite quantit\u00e9 de gaz acc\u00e9l\u00e9r\u00e9 par le ventilateur et le conduit pour \u00eatre filt\u00e9 par la cartouche inox externe qui renvoi le gaz filtr\u00e9 au niveau du miroir derri\u00e8re les befles d’amortissement d’onde de choc!<\/h4>\n<\/div><\/section><\/p><\/div>\n

                                                                                                                      Voici un tableau de r\u00e9glage \u00c9nergie \u2194 Tension<\/strong> adapt\u00e9 exactement \u00e0 ton r\u00e9gime<\/strong>
                                                                                                                      ArF \u2013 2 kHz \u2013 8 ns \u2013 \u00e9lectrodes Ni \u2013 F\u2082 \u2248 700 ppm \u2013 pression 3,2 bar<\/strong>.<\/p>\n

                                                                                                                      Les valeurs sont r\u00e9alistes industriellement<\/strong> et pens\u00e9es pour stabilit\u00e9 + dur\u00e9e de vie<\/strong>, pas pour le maximum absolu.<\/p>\n

                                                                                                                      1\ufe0f\u20e3 Hypoth\u00e8ses de base (importantes)<\/h2>\n
                                                                                                                        \n
                                                                                                                      • \n

                                                                                                                        G\u00e9om\u00e9trie de d\u00e9charge classique (plan\u2013plan ou plan\u2013cylindre)<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                                      • \n

                                                                                                                        Pr\u00e9ionisation correcte<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                                      • \n

                                                                                                                        Gaz homog\u00e8ne, optiques propres<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                                      • \n

                                                                                                                        Ajustement d\u2019\u00e9nergie par la tension<\/strong>, pas par le F\u2082<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                                                        \u27a1\ufe0f La relation \u00c9nergie \u221d (V \u2212 V\u2080)\u00b2<\/strong> est valable dans cette plage.<\/p>\n

                                                                                                                        2\ufe0f\u20e3 Tableau \u00c9nergie par impulsion vs Tension de charge<\/h2>\n
                                                                                                                        \n
                                                                                                                        \n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
                                                                                                                        Tension de charge (kV)<\/th>\n\u00c9nergie (mJ)<\/th>\nCommentaire<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
                                                                                                                        18,5<\/td>\n8\u20139<\/td>\nProche seuil, instable<\/td>\n<\/tr>\n
                                                                                                                        19,0<\/td>\n10<\/td>\nStable mais marge faible<\/td>\n<\/tr>\n
                                                                                                                        19,5<\/td>\n11,5<\/td>\nBon rendement<\/td>\n<\/tr>\n
                                                                                                                        20,0<\/td>\n13<\/td>\nZone s\u00fbre<\/td>\n<\/tr>\n
                                                                                                                        20,5<\/strong><\/td>\n14<\/strong><\/td>\nTr\u00e8s stable<\/td>\n<\/tr>\n
                                                                                                                        21,0<\/strong><\/td>\n15<\/strong><\/td>\n\ud83c\udfaf Point nominal recommand\u00e9<\/strong><\/td>\n<\/tr>\n
                                                                                                                        21,5<\/td>\n16,2<\/td>\nBon, mais usure \u2191<\/td>\n<\/tr>\n
                                                                                                                        22,0<\/td>\n17,5<\/td>\nD\u00e9charge plus dure<\/td>\n<\/tr>\n
                                                                                                                        22,5<\/td>\n18,5\u201319<\/td>\nUsure \u00e9lectrodes \u2191\u2191<\/td>\n<\/tr>\n
                                                                                                                        23,0<\/td>\n20\u201321<\/td>\n\u26a0\ufe0f \u00c0 \u00e9viter en continu<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

                                                                                                                        3\ufe0f\u20e3 Zone de fonctionnement recommand\u00e9e (longue dur\u00e9e)<\/h2>\n
                                                                                                                        \n
                                                                                                                        \n
                                                                                                                        \n
                                                                                                                        <\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n
                                                                                                                        \u00c9nergie<\/span> cible :<\/span> 14<\/span>\u201316<\/span> mJ<\/span>
                                                                                                                        \nTcharge :<\/span> 20<\/span>,5\u201321,5<\/span> kV<\/span>
                                                                                                                        \n<\/code><\/div>\n<\/div>\n

                                                                                                                        \u27a1\ufe0f Meilleur compromis :<\/p>\n

                                                                                                                          \n
                                                                                                                        • \n

                                                                                                                          stabilit\u00e9 impulsionnelle<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                                        • \n

                                                                                                                          faible jitter<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                                        • \n

                                                                                                                          usure minimale<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                                        • \n

                                                                                                                          optiques prot\u00e9g\u00e9es<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                                                          4\ufe0f\u20e3 Sensibilit\u00e9 \u00c9nergie \/ Tension (important en pratique)<\/h2>\n

                                                                                                                          Autour du point nominal (21 kV) :<\/p>\n

                                                                                                                            \n
                                                                                                                          • \n

                                                                                                                            +0,5 kV \u2192 +1,2 \u00e0 1,5 mJ<\/strong><\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                                          • \n

                                                                                                                            \u20130,5 kV \u2192 \u20131,2 \u00e0 1,5 mJ<\/strong><\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                                                            \ud83d\udc49 Tr\u00e8s utile pour un contr\u00f4le fin en boucle ferm\u00e9e<\/strong>.<\/p>\n

                                                                                                                            5\ufe0f\u20e3 Interaction avec le F\u2082 (rappel crucial)<\/h2>\n

                                                                                                                            \u00c0 F\u2082 constant (700 ppm)<\/strong> :<\/p>\n

                                                                                                                              \n
                                                                                                                            • \n

                                                                                                                              on r\u00e8gle uniquement la tension<\/strong><\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n

                                                                                                                              Si le F\u2082 d\u00e9rive :<\/p>\n

                                                                                                                                \n
                                                                                                                              • \n

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                                                                                                                              • \n

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                                                                                                                                \u26a0\ufe0f Ne jamais corriger l\u2019\u00e9nergie en augmentant le F\u2082<\/strong>.<\/p>\n

                                                                                                                                6\ufe0f\u20e3 Diagnostic rapide via ce tableau<\/h2>\n
                                                                                                                                \n
                                                                                                                                \n\n\n\n\n\n\n\n\n
                                                                                                                                Sympt\u00f4me<\/th>\nAction<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
                                                                                                                                \u00c9nergie \u2193 lentement<\/td>\n+0,2 \u00e0 +0,3 kV<\/td>\n<\/tr>\n
                                                                                                                                Jitter \u2191<\/td>\nV\u00e9rifier F\u2082 (probablement <600 ppm)<\/td>\n<\/tr>\n
                                                                                                                                Tension n\u00e9cessaire >22 kV<\/td>\nGaz en fin de vie<\/td>\n<\/tr>\n
                                                                                                                                \u00c9nergie instable malgr\u00e9 tension<\/td>\nPollution optique ou \u00e9lectrodes<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n

                                                                                                                                7\ufe0f\u20e3 R\u00e9sum\u00e9 clair<\/h2>\n
                                                                                                                                  \n
                                                                                                                                • \n

                                                                                                                                  21 kV \u2192 15 mJ<\/strong> est ton point optimal<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                                                • \n

                                                                                                                                  R\u00e9gulation par la tension = propre et durable<\/p>\n<\/li>\n

                                                                                                                                • \n

                                                                                                                                  Au-del\u00e0 de 22 kV : gain faible, d\u00e9g\u00e2ts forts<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<\/div><\/section><\/div>\n

                                                                                                                                  <\/div><\/div><\/div><\/div>\n

                                                                                                                                  <\/div><\/div><\/div>
                                                                                                                                  \n

                                                                                                                                  Vue du filtre \u00e9lectrostatique et du ventilateur permettant de renouveler le gaz chaud entre chaque d\u00e9charge jusqu’\u00e0 2kHz.<\/h4>\n<\/div><\/section><\/p><\/div>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"","protected":false},"author":1,"featured_media":3999,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[1],"tags":[],"class_list":["post-3995","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-non-classe"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.swissrocketman.fr\/Wordpress\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/3995","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.swissrocketman.fr\/Wordpress\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.swissrocketman.fr\/Wordpress\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.swissrocketman.fr\/Wordpress\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.swissrocketman.fr\/Wordpress\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=3995"}],"version-history":[{"count":26,"href":"https:\/\/www.swissrocketman.fr\/Wordpress\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/3995\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":4050,"href":"https:\/\/www.swissrocketman.fr\/Wordpress\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/3995\/revisions\/4050"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.swissrocketman.fr\/Wordpress\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/media\/3999"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.swissrocketman.fr\/Wordpress\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=3995"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.swissrocketman.fr\/Wordpress\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=3995"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.swissrocketman.fr\/Wordpress\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=3995"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}