Ce laser est le second prototype pour l’évaluation du laser 2kHz à excimer ArF muni d’une turbo soufflante pour refroidir les gaz après la décharge. Le but était de tester les caractéristiques de la ligne de Blumlein en BaTiO3, les caractéristiques des électrodes de préionisation à effet corona ainsi que les électrodes de décharge. La commutation était faite par un thyratron à hydrogène EG&G type HY-1102. Une unité trigger EG&G model TM27 servait à faire commuter le thyratron.Les miroirs composant le résonateur sont des miroirs multidiélectrique Rmax 99.98% et Rs 87%.
3. Concentrations typiques de fluor
Les valeurs varient selon les fabricants.
ArF (193 nm)
Composition typique :
| Gaz | Concentration |
|---|---|
| Ar | 1 à 5 % |
| F₂ | 0,05 à 0,15 % |
| Ne | reste |
Valeur courante :
- 0,1 % F₂
- 3 % Ar
- 96,9 % Ne
KrF (248 nm)
Composition typique :
| Gaz | Concentration |
|---|---|
| Kr | 0,5 à 2 % |
| F₂ | 0,08 à 0,3 % |
| Ne | reste |
Valeur fréquente :
- 0,15 % F₂
- 1 % Kr
- 98,85 % Ne
F₂ excédentaire
Le fluor est volontairement en léger excès pour :
- compenser sa consommation chimique ;
- maintenir l’efficacité de formation de l’excimère ;
- réduire la dérive énergétique.
Une variation de seulement quelques dizaines de ppm influence déjà l’énergie impulsionnelle.
4. Compatibilité des matériaux avec le fluor
Le fluor est probablement le gaz le plus agressif utilisé couramment dans les lasers.
À température ambiante, certains métaux survivent grâce à une couche de fluorure protectrice.
Nickel
Très utilisé.
Formation :
Ni + F₂ → NiF₂
La couche de NiF₂ est :
- dense ;
- adhérente ;
- protectrice.
Le nickel est souvent considéré comme la référence pour le fluor sec.
Monel
Le Monel est un alliage :
- ~65 % Ni
- ~30 % Cu
Très utilisé pour :
- détendeurs ;
- vannes ;
- raccords.
Il possède :
- excellente résistance au fluor ;
- bonne résistance mécanique.
Hastelloy
Alliages Ni-Cr-Mo.
Utilisés lorsque :
- température élevée ;
- présence simultanée de HF ;
- environnement humide.
Plus coûteux mais extrêmement robustes.
Inconel
Bonne résistance.
Souvent utilisé pour :
- cellules électrolytiques ;
- pièces mécaniques chaudes.
Acier inoxydable
Cas particulier.
Le fluor sec peut être compatible avec :
- 304L ;
- 316L
à condition qu’ils soient parfaitement passivés.
Cependant :
- HF + humidité détruisent rapidement la couche protectrice ;
- le risque est bien supérieur qu’avec le nickel.
5. Passivation fluor
Avant mise en service, les circuits fluor sont passivés.
Principe :
- nettoyage ultra-propre ;
- séchage ;
- exposition progressive à F₂ dilué ;
- augmentation graduelle de la concentration.
Exemple :
Cela forme lentement une couche protectrice uniforme.
Sans passivation :
- corrosion rapide ;
- particules métalliques ;
- contamination du mélange laser ;
- risque d’emballement chimique.
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