{"id":6343,"date":"2026-06-03T23:28:15","date_gmt":"2026-06-03T21:28:15","guid":{"rendered":"https:\/\/www.swissrocketman.fr\/Wordpress\/?p=6343"},"modified":"2026-06-14T13:59:24","modified_gmt":"2026-06-14T11:59:24","slug":"laser-excimer-hcl-2-khz-developper-par-arnold-en-1978","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.swissrocketman.fr\/Wordpress\/laser-excimer-hcl-2-khz-developper-par-arnold-en-1978\/","title":{"rendered":"LASER EXCIMER HCl 2 kHz d\u00e9velopper par Arnold en 1978"},"content":{"rendered":"

Ce laser prototype je l’ai d\u00e9velopper en 1978 pour la soci\u00e9t\u00e9 Canadienne Photochemical Research Associates (PRA)
\nLa particularit\u00e9 est qu’il est compact par le fait d’utiliser une double ligne de Blumlein en titanate de barium.
\nL’autre particularit\u00e9 est qu’il permet de travailler \u00e0 2000 pulses par seconde gr\u00e2ce \u00e0 une circulation de gaz par turbo-soufflante
\net d’un \u00e9changeur de chaleur (gaz-liquide) ultra compact.
\nLa commutation \u00e9tait r\u00e9alis\u00e9e par un thyratron EG&G\u00a0\u00a0type HY-1102.<\/h3>\n<\/div><\/section><\/div>\n
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Laser excimer KrF et XeCl de 2kHz\u00a0 comprenant une t\u00eate laser et une alimentation haute tension. L’alimentation est compos\u00e9e de plusieurs unit\u00e9 \u00e0 savoir une unit\u00e9 servant \u00e0 r\u00e9gl\u00e9 la vitesse de rotation du turbo compresseur optimis\u00e9 pour l’h\u00e9lium ,vitesse de rotation entre 100’000 et 120’000 tours\/ minute et muni de palier a\u00e9rodynamique. D’une unit\u00e9 pour l’alimentation du thyratron \u00e0 hydrog\u00e8ne courant cathode , courant de chauffe du gaz, tension grille. D’une unit\u00e9 trigger et d’une unit\u00e9 de charge par r\u00e9sonnance de la capacit\u00e9 haute tension de 20 kV.<\/h4>\n<\/div><\/section>\n
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\n

Visualisation de 1 ligne de \u00ab\u00a0Blumlein\u00a0\u00bb en titanate de baryum avec les \u00e9lectrodes de d\u00e9charge ainsi que les \u00e9lectrodes de pr\u00e9-ionization. On vois \u00e9galement l’\u00e9changeur de chaleur air\/eau et l’entr\u00e9e du turbo compresseur.<\/h4>\n<\/div><\/section><\/p><\/div>\n
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Commentaire de Chat GTP5.2<\/em><\/strong><\/span><\/h2>\n

Concernant l’inscription \u00ab Developed by Arnold Neracher in 1978 \u00bb<\/h2>\n

Cette affirmation appelle quelques remarques historiques.<\/p>\n

Les premiers lasers excim\u00e8res fonctionnels ont \u00e9t\u00e9 d\u00e9montr\u00e9s vers :<\/p>\n

    \n
  • 1970 : Xe\u2082<\/li>\n
  • 1975 : XeCl<\/li>\n
  • 1976\u20131977 : KrF<\/li>\n<\/ul>\n

    L’architecture repr\u00e9sent\u00e9e ici (soufflante int\u00e9gr\u00e9e, \u00e9changeur compact, fonctionnement \u00e0 2 kHz) correspond davantage \u00e0 des technologies industrielles apparues dans les ann\u00e9es 1990\u20132000 que dans les ann\u00e9es 1970.<\/p>\n

    Par exemple :<\/p>\n

      \n
    • les premiers KrF de laboratoire fonctionnaient g\u00e9n\u00e9ralement entre 1 et 50 Hz,<\/li>\n
    • atteindre 2 kHz n\u00e9cessite une ma\u00eetrise tr\u00e8s avanc\u00e9e :\n
        \n
      • circulation du gaz,<\/li>\n
      • pr\u00e9ionisation,<\/li>\n
      • refroidissement,<\/li>\n
      • alimentation puls\u00e9e faible inductance.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ul>\n
        \n

        Estimation des performances<\/h2>\n

        Si cette t\u00eate est r\u00e9ellement une t\u00eate KrF 248 nm de 2 kHz :<\/p>\n

        \n
        \n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n
        Param\u00e8tre<\/th>\nValeur plausible<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n
        Longueur d’onde<\/td>\n248 nm<\/td>\n<\/tr>\n
        Fr\u00e9quence<\/td>\n2000 Hz<\/td>\n<\/tr>\n
        Dur\u00e9e d’impulsion<\/td>\n10\u201330 ns<\/td>\n<\/tr>\n
        \u00c9nergie impulsion<\/td>\n5\u201350 mJ<\/td>\n<\/tr>\n
        Puissance moyenne UV<\/td>\n10\u2013100 W<\/td>\n<\/tr>\n
        Tension de charge<\/td>\n20\u201335 kV<\/td>\n<\/tr>\n
        Courant de d\u00e9charge<\/td>\n10\u201350 kA<\/td>\n<\/tr>\n
        Vitesse du gaz<\/td>\n20\u2013100 m\/s<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n<\/div>\n
        \n

        L’\u00e9l\u00e9ment le plus int\u00e9ressant de cette image est la soufflante centrifuge int\u00e9gr\u00e9e<\/strong>. C’est elle qui permet de distinguer un excim\u00e8re haute cadence (kHz) d’un excim\u00e8re de laboratoire classique \u00e0 quelques hertz. On retrouve cette architecture dans les syst\u00e8mes utilis\u00e9s pour la lithographie des semi-conducteurs et dans certains lasers industriels UV haute puissance.<\/p>\n<\/div><\/section><\/div>\n

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